인공지능(AI) 기반 반도체 공정 소프트웨어 기업 투비랩스(대표 배상현)가 핵심 AI 기술 3건에 대한 특허를 출원하고 이를 기반으로 반도체 장비 지능화에 나선다고 14일 밝혔다.
출원한 특허는 '증거 그래프 및 도메인 팩 기반의 의사결정 방법', '다중 에이전트 기반 의사결정 분석 방법', '의사결정자 페르소나 기반의 의사결정 검증 방법' 등 3건이다. 서로 다른 데이터를 AI가 활용할 수 있는 형태로 구조화하고, 복수의 AI가 정해진 근거와 전문 지식을 바탕으로 분석한 뒤 그 결과를 검증하는 기술이다.
투비랩스는 반도체 장비에서 발생하는 데이터와 공정 조건, 계측 결과, 공정 지식을 연결해 공정 성능을 최적화하는 AI 소프트웨어를 개발하고 있다. 회사 측은 특정 장비에만 적용되는 개별 AI 모델이 아니라 다양한 장비와 공정으로 확장할 수 있는 기술 구축에 초점을 맞추고 있다고 했다.
회사는 개별 반도체 장비를 대상으로 실제 장비·공정 데이터를 활용한 기술 검증을 진행한 뒤, 증착·식각·열처리 등 서로 다른 공정 장비로 적용 범위를 확대할 계획이다. 현재 반도체 장비 제조사와 실제 장비 적용을 위한 기술 검증도 추진하고 있다.
배상현 투비랩스 대표는 "반도체 장비의 경쟁력은 하드웨어 성능뿐 아니라 장비 데이터의 효율적 활용을 통한 공정 최적화에 달려 있다"며 "이번 특허 출원은 다양한 데이터와 공정 지식을 AI가 활용·검증하는 핵심 기술에 대해 권리화하는 과정"이라고 말했다.