산업가스 전문기업 에어퍼스트의 100% 자회사 AF E&C가 국내 반도체 제조 환경에 최적화한 공기분리장치(ASU) 국산화를 추진한다. 해외 기술을 기반으로 상세 설계와 엔지니어링 역량을 내재화해 반도체용 초고순도 질소 생산설비 공급망을 강화한다는 전략이다.
6일 AF E&C는 중국의 고순도 질소 설비 전문기업 광강가스엔지니어링(Guanggang Gases Engineering·G-gas)과 반도체용 ASU 공동 개발을 위한 전략적 업무협약(MOU)을 체결했다.
양사는 G-gas의 독자적인 'Super-N' 기술과 기본 설계를 바탕으로 AF E&C의 ASU 엔지니어링과 EPC(설계·조달·시공) 역량을 결합해 초고순도 질소 생산·공급 설비를 공동 개발하고 국내 시장에 사업화할 방침이다.
AF E&C는 국내 반도체 고객사의 요구사항을 반영한 상세 설계와 엔지니어링·EPC를 맡고 G-gas는 OEM(주문자상표부착생산) 방식으로 설비를 제작한다. 국내 반도체 제조시설의 초고순도 품질 기준과 무중단 운영 요건을 충족하는 수준의 설비를 개발하는 것이 목표다.
아울러 AF E&C는 △공정흐름도(PFD) △배관계장도(P&ID) 등 주요 장비 구성과 사양 등을 구체화해 국내 운전 환경과 유지보수 편의성을 반영한 설비를 구축할 예정이다. 이를 통해 설비의 안전성과 운영 효율성까지 함께 높인다는 설명이다.
AF E&C는 이번 협력을 계기로 해외 기술을 국내 반도체 제조 환경에 맞게 최적화하고 반도체용 ASU의 상세 설계와 엔지니어링 역량을 내재화할 수 있을 것으로 기대했다. 핵심 가스 생산설비의 국내 공급체계 또한 단계적으로 확대할 계획이다.
양한용 에어퍼스트 대표는 "G-gas의 검증된 기술과 AF E&C의 ASU 엔지니어링 역량을 결합해 국내 반도체 제조 환경에 최적화된 ASU를 공동 개발하고 국산화를 추진한다는 데 의미가 있다"며 "에어퍼스트의 국내 사업화 역량과 운영 경험을 바탕으로 안정성과 경제성을 모두 갖춘 초고순도 질소 생산·공급 설비를 제공하겠다"고 말했다.
에어퍼스트는 1975년 설립한 산업가스 전문기업으로 반도체·석유화학·철강·이차전지·자동차·조선 등 국가 핵심 산업에 산소와 질소, 아르곤 등 산업용 가스를 공급한다. 현재 평택과 기흥·용인, 서산, 군산, 포항 등 5개 ASU 클러스터와 전국 15개 온사이트 플랜트를 기반으로 산업가스 공급망을 운영하고 있다.