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에이루트는 15일 자회사 앤에스알시가 대만 반도체 생산 공장향 110만달러 규모 'i-line(아이라인)' 리퍼비시 노광장비를 수주했다고 밝혔다.
이번 수주에 따라 앤에스알시는 자체 기술력을 바탕으로 장비 고도화 및 현지 고객사의 생산 라인에 맞춰 i-line(아이라인) 리퍼비시 노광장비를 공급할 예정이다. 해당 장비는 반도체 웨이퍼 위에 회로 패턴을 형성하는 노광 공정에 적용되며, 다양한 반도체 생산 라인에서 활용도가 높은 게 특징이다.
최근 대만과 중국의 중소형 팹에서 리퍼비시 노광장비 수요가 증가하면서 앤에스알시 해외 수주 규모가 확대되고 있다. 리퍼비시 장비는 신규 장비 대비 도입 기간 및 금액을 대폭 줄일 수 있어 주목받고 있다. 특히 i-line(아이라인) 장비는 생산라인 증설과 전환을 추진하는 중소형 팹에 적합하다.
앤에스알시 관계자는 "지난해 대만 기업으로부터 수주한 리퍼비시 노광장비를 최근 성공적으로 납품하면서 신뢰도를 축적해 추가 수주에 성공했다"며 "글로벌 시장에서 반도체 리퍼비시 노광장비 수요가 증가하고 있는 가운데 검증된 기술력과 다수의 레퍼런스를 기반으로 수주가 본격화되고 있다"고 말했다.