한국원자력연구원이 반도체와 디스플레이 공정에 필수적인 고효율 유체이송 시스템 기술을 진공펌프 전문 기업 벡스코에 이전했다. 정액기술료 1억원, 매출액의 1.5%를 경상기술료로 받는 조건이다.
5일 원자력연은 권장순 처분성능실증연구부 박사 연구팀이 개발한 '고효율 가압·진공 유체이송 시스템'을 벡스코에 이전하는 내용의 기술실시계약을 2일 체결했다고 밝혔다. 벡스코는 진공펌프 및 진공시스템을 생산·판매하는 전문기업이다.
연구원은 유체이송 시스템 관련 특허 9건과 노하우 1건을 이전하는 조건으로 정액기술료 1억원, 매출액의 1.5%를 경상기술료로 받는다. 향후 발생할 제품 매출액의 1.5%를 연구원에 지급한다는 의미다. 실시기간은 계약 체결일로부터 10년이다.
유체이송 시스템은 반도체·디스플레이 제조 공정의 '초고진공 상태'를 만들 때 쓰인다. 원통형 구조 내부의 회전체(로터)가 회전하며 유체를 흡입하고 이송하는 과정에서 진공 상태가 된다. 회전체가 돌면서 내부 공간이 넓어지면 압력이 낮아져 외부의 유체가 들어오고, 공간이 좁아지면 압력이 높아지며 유체가 밀려 나가는 원리를 이용한다.
연구팀이 개발한 시스템은 입수관, 출수관의 방향을 바꿀 수 있도록 설계돼 유체의 양방향 이동이 가능하다. 점도가 높은 액체도 안정적으로 처리한다. 또 별도의 외부 장치 없이 유체를 스스로 흡입하고 진공 상태를 형성한다.
원자력연은 "지금까지 핵심 유체이송 장치를 대부분 해외 제품에 의존했지만, 이번 기술 이전을 통해 관련 장비를 국산화할 기반이 마련됐다"며 "에너지, 화학 분야로도 확장이 가능하다"고 했다.
이번 기술은 과학기술정보통신부 원자력기술개발사업 및 기후에너지환경부 에너지기술개발사업의 지원을 받았다.