12일 오후 경북 경주 부근에서 역대 최대규모의 지진이 발생한 가운데 삼성전자와 SK하이닉스 반도체 공장 내 일부 시설의 가동이 잠시 중단됐다 현재 복구중인 것으로 파악됐다.
이날 기상청에 따르면 오후 8시32분 경북 경주 남남서쪽 8km 육상에서 규모 5.8 강도의 지진이 발생했다. 직전 오후 7시44분쯤에는 경북 남남서쪽 9km 지역에서 규모 5.1의 전진(본 지진에 앞서 발생하는 지진)이 감지됐다. 5.8 규모의 지진은 기상청의 계기지진관측이 시작된 1978년 이래 가장 큰 규모다.
이날 반도체 업계 및 소방당국에 따르면 이번 지진으로 삼성전자 화성 반도체공장 포토장비 3대의 가동이 중단됐고, 이 중 1대는 곧바로 복구됐지만 나머지 2대는 현재 복구 중인 것으로 파악됐다.
반도체 생산시설은 진도 6~7 수준을 감내하도록 내진설계가 돼 있다. 그러나 생산시설 특성상 진동에 매우 민감하기 때문에 일정 수준 이상의 진도가 느껴지면 스스로 가동을 멈춘다.
권오현 삼성전자 대표이사 부회장(DS부문장)은 이날 지진 발생 직후 삼성전자 서초사옥에서 기자와 만나 "(잠시 일부 장비의 가동이 멈췄지만) 현재 백업이 잘 되고 있다"고 말했다.
SK하이닉스도 이번 지진으로 경기도 이천 및 충청북도 청주 소재 반도체 공장 내 노광장비 일부의 가동이 중단됐고, 현재 복구 중인 것으로 알려졌다. SK하이닉스 측은 "(중단된 노광장비는) 극소수에 불과하다"며 "생산에는 지장이 전혀 없다"고 설명했다.
이밖에 LG디스플레이나 삼성디스플레이 등 디스플레이 관련 업체들도 피해 상황을 접수중이나 아직까지 특이사항은 보고되지 않은 것으로 파악됐다.
한 디스플레이 업체 관계자는 "약간의 흔들림이 느껴졌다는 제보는 있었다"면서도 "공장 가동에는 이상이 없어 현재 정상 가동중인 것으로 보고받았다"고 말했다.