AI(인공지능) 기반 반도체 제조 솔루션 기업 에이아이비즈(AIBIZ)가 반도체 공정 이상 진단 기술과 관련한 특허 등록을 완료했다고 24일 밝혔다.
이번 특허는 복수의 결함점을 기반으로 웨이퍼맵 패턴을 자동 분류하는 방법 및 장치에 관한 기술이다. 반도체 제조 공정에서 발생하는 다양한 불량 패턴을 인공지능 모델이 자동으로 인식·분류할 수 있도록 설계됐다.
해당 기술은 여러 공정 설비에서 수집된 웨이퍼맵 이미지를 이진화한 뒤 결함점의 위치와 형상 정보를 바탕으로 패턴을 군집화하고, 딥러닝 기반 분류 모델로 불량 유형을 구분하는 것이 핵심이다. 작업자의 경험에 의존해 육안으로 분류하던 기존 방식과 달리 알려지지 않은 신규 결함 패턴까지 자동 인식할 수 있어 공정 대응 속도와 정확도를 높일 수 있다.
아울러 결함점 클러스터링과 데이터 불균형을 고려한 학습 데이터 조정 기법을 적용, 불량 패턴 간 편차로 인한 분류 정확도 저하 문제를 개선했다. 이를 통해 제조 현장에서 안정적인 이상 진단과 공정 원인 분석이 가능해질 전망이라고 에이아이비즈 측은 말했다.
에이아이비즈는 이번 특허 기술을 자사의 반도체 제조 공정 진단 AI 솔루션 'DutchBoy(더치보이) S'에 단계적으로 적용, 웨이퍼 불량 패턴 분석과 공정 이상 원인 추적 기능을 고도화할 계획이다. 또 공정 설비 상태 진단과 수율 저하 원인 분석 등으로 적용 범위를 확대한다는 방침이다.
하승재 에이아이비즈 대표는 "반도체 공정 이상 진단 기술과 관련한 24번째 특허 등록을 완료했다"며 "이번 특허는 반도체 제조 공정에서 발생하는 복합 불량 패턴을 AI가 스스로 학습·분류할 수 있는 핵심 기술"이라고 말했다. 이어 "지속적 특허 확보로 반도체 제조 AI 분야에서 기술 진입장벽을 높이고 글로벌 경쟁력을 강화하겠다"고 덧붙였다.