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나노계측기기 전문기업 파크시스템스가 스위스의 디지털 홀로그래픽 현미경(DHM) 기술 기업 린시테크(Lyncée Tec)를 인수했다고 6일 발표했다.
2022년 10월 독일의 계측장비 회사 아큐리온(Accurion GmbH)을 인수한 데 이어 인수·합병(M&A)을 통해 광학계측 포트폴리오를 강화했다.
린시테크는 2003년 스위스 로잔 연방공과대학(EPFL) 연구진이 설립한 회사로 DHM 기술의 연구개발과 상업화를 선도해 왔다. DHM 기술은 홀로그램을 활용해 샘플의 3차원(3D) 정보를 스캔 없이 전체 시야에서 빠르게 얻을 수 있는 혁신적인 기술이다.
기존 간섭계 기반 광학 프로파일링보다 100배 이상 빠른 이미징 속도를 제공하는 한편, 크기가 작아 연구 및 산업 생산 환경에서 활용되고 있으며 재료과학, 생명과학, MEMS, 제조업 등 다양한 분야에서 높은 정밀도와 효율성을 인정받고 있다.
파크시스템스 박상일 대표는 "린시테크의 합류는 당사가 반도체 공정 전반에 걸쳐 포괄적인 솔루션을 제공하는 글로벌 리더로 나아가는 데 중요한 전환점이 될 것"이라며 "원자현미경(AFM) 기반 플랫폼에 DHM 기술을 결합해 완전 자동화된 DHM 시스템을 개발하고, 이를 어드밴스드 패키징을 포함한 다양한 반도체 응용분야에 적용할 계획"이라고 말했다.