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태성은 금속 표면처리 전문 기업 E사에 TGV(Through Glass Via) Bottom-up Via Fill 전기 동도금 설비를 공급한다고 27일 밝혔다.
이번에 공급되는 설비는 유리기판에 형성된 TGV 관통홀 내부를 아래에서 위로 균일하게 구리(Cu)로 채우는 TGV Bottom-up Via Fill 방식의 전기 동도금 장비다. 유리기판 기반 반도체 패키징 공정에서 전기적 신뢰성과 공정 안정성을 확보하는 데 중요한 역할을 하는 핵심적인 역할을 수행하는 설비로 꼽힌다.
해당 설비는 유리기판 TGV 공정에 대한 도금 조건 검증 및 공정 최적화에 활용될 예정이다. 이를 통해 차세대 유리기판 공정 적용을 위한 기술 완성도를 단계적으로 높여 나갈 계획이다.
E사는 최근 유리기판 사업 확대를 추진 중인 국내 주요 전자부품 기업 계열로부터 전략적 투자를 유치한 것으로 알려졌다. 차세대 유리기판 공정 기술 기업으로 업계 주목을 받고 있는 곳 중 하나다. 태성은 차세대 유리기판 산업 가치사슬에서 핵심 공정 장비를 축으로 한 전략적 협력 생태계를 확대한다는 전략이다.
태성은 그동안 유리기판 및 TGV 공정 대응 장비를 중심으로 공정 기술력과 장비 안정성을 지속적으로 고도화해 왔다. 이번 TGV Bottom-up Via Fill 전기 동도금 설비 공급을 통해 유리기판 공정 전반에 대한 기술 대응 역량을 한층 강화하게 됐다는 평가다.
태성 관계자는 “이번 TGV Bottom-up Via Fill 전기 동도금 설비 공급은 당사가 유리기판 TGV 공정 대응을 위한 장비 기술력을 실제 공정 검증 단계에 적용했다는 점에서 의미가 크다”며 “유리기판 공정 전반에 대한 기술 대응 역량을 지속적으로 강화해 차세대 반도체 패키징 및 첨단 기판 시장에서 경쟁력을 높여 나갈 것”이라고 밝혔다.