정부가 2030년까지 반도체 필수 소재 중 하나인 초순수 공정의 90% 국산화를 추진한다. 국내 기술 생태계 구축을 통해 반도체 산업 공급망과 물산업 경쟁력을 동시에 강화한다는 계획이다.
기후에너지환경부는 '차세대 초순수 생산·공급 및 자립형 생산공정 기술개발' 2단계 사업을 본격 추진한다고 26일 밝혔다. 이를 위해 오는 27일 공공기관 및 관련 업계와 착수회의를 갖는다.
초순수는 반도체, 디스플레이, 이차전지 등 첨단산업 공정에서 웨이퍼와 생산설비를 세정하는데 사용되는 공업용수다. 초미세 공정에 사용된다는 점에서 미량의 유기물·입자·이온까지 제거하는 고난도 수처리 기술이 필요하다.
정부는 2021년 1단계 사업을 통해 △자외선 산화장치(UV Oxidation) △탈기막(MDG) △이온교환수지 등의 초순수 공정의 핵심 기자재를 국산화했다. 국내 기술로 개발된 초순수를 SK실트론 구미사업장의 반도체 웨이퍼 생산공정에 공급하면서 현장 적용성과 신뢰성을 검증했다.
2단계 사업은 1단계 사업 성과를 기반으로 추진되는 후속 연구개발 사업이다. 초순수 생산 전과정의 핵심기술과 기자재 국산화를 확대해 2030년까지 기술 자립화를 완성하는 것이 목표다. 초순수 산업의 국산화 범위를 기존 핵심 기자재에서 초순수 공급 배관 등의 소재까지 확대한다. 전과정에 걸쳐 국산화율을 90% 이상 달성할 계획이다.
탄소규제 대응과 운영비 절감을 위한 저에너지형 초순수 실증설비 설계기술 개발도 추진한다. 하수 재이용수를 초순수의 원수로 사용하기 위한 극미량 오염물질 제거기술 개발이 진행된다. 2027년부터는 초극미량(1조분의 1) 분석기술 개발을 추진해 초순수의 품질을 정밀하게 평가할 수 있는 분석기술까지 확보한다.
기후부는 초순수 산업 전 주기의 국내 기술 생태계가 구축되면 첨단산업 공정의 공급망 안정성과 국가 물산업 경쟁력을 동시에 강화할 수 있을 것으로 기대했다.
김지영 기후부 물이용정책관은 "반도체를 비롯한 국가 첨단전략산업의 경쟁력을 뒷받침하고 국내 물기업의 해외 초순수 시장 진출 기반을 마련하는 계기가 될 것"이라고 말했다.