에이루트의 반도체 장비 전문 자회사 앤에스알시(NSRC)는 대만 반도체기업과 110만 달러 규모 '아이라인(i-line)' 리퍼비시 노광장비 공급계약을 체결했다고 15일 밝혔다. 최근 중국 반도체 기업과 140만달러 규모의 미세공정용 고해상도 노광장비 관련 기술용역 계약을 체결한 데 이은 추가 성과다.
이번 수주에 따라 앤에스알시는 자체 기술력을 바탕으로 장비 고도화를 거쳐 현지 고객사의 생산 라인 규격에 맞춘 아이라인 리퍼비시 노광장비를 공급한다. 해당 장비는 반도체 웨이퍼 위에 회로 패턴을 형성하는 노광 공정에 적용되며, 다양한 반도체 생산 공정에서 활용도가 높다.
최근 대만과 중국의 중소형 팹을 중심으로 리퍼비시 노광장비 수요가 늘어나면서 앤에스알시의 해외 수주 규모도 함께 확대되는 추세다. 리퍼비시 장비는 신형 장비 도입과 비교해 조달 기간 및 비용을 줄일 수 있어 시장의 대안으로 꼽힌다. 특히 아이라인 장비는 생산라인의 신속한 증설과 전환을 추진하는 중소형 팹에 적합하다는 평가를 받는다.
앤에스알시 관계자는 "지난해 대만 기업으로부터 수주한 리퍼비시 노광장비를 최근 성공적으로 납품하면서 신뢰도를 축적해 추가 수주에 성공했다"며 "글로벌 시장에서 반도체 리퍼비시 노광장비 수요가 증가하고 있는 가운데, 검증된 기술력과 다수의 레퍼런스를 기반으로 수주가 본격화되고 있다"고 말했다.
그는 이어 "최근 대만 기업향 295만달러 규모 리퍼비시 노광장비 납품을 완료한 데 이어 이번에 수주한 장비도 연내 납품 예정이기 때문에 올해부터 반도체 노광장비를 중심으로 한 실적 성장이 본격화될 것"이라며 "이번 수주 외에도 다수 국가의 반도체 기업과 추가 리퍼비시 노광장비 공급을 논의 중이기 때문에 후속 수주가 기대된다"고 덧붙였다.
한편 2002년 설립된 에이루트는 산업용 미니프린터(POS) 제조 전문기업이다. 자회사로 앤에스알시 외에 친환경 폐기물 재활용 기업 에이루트에코 등이 있다.