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콤팩트 카메라 모듈(CCM) 및 반도체 자동화 장비 전문기업 팸텍은 8일 자동화된 반도체 웨이퍼 샘플 전처리 시스템에 대한 미국 특허 등록을 완료했다고 밝혔다. 이번에 등록된 특허 명칭은 'AUTOMATED SEMICONDUCTOR WAFER SAMPLE PRE-PROCESSING SYSTEM'이며, 미국 출원번호는 US18/138,616이다. 해당 기술은 이미 국내에서 동일 명칭으로 특허가 등록된 바 있다. 이번 특허 기술은 웨이퍼 다이싱부터 폴리싱까지의 시편 제작 과정을 자동화한 시스템이다. 특히 결함 좌표 기반 자동 시편 제작 기능을 통해 작업 편차를 줄이고, 공정 효율과 분석 품질을 높일 수 있다. 이를 통해 기존 수작업 방식에서 발생하던 품질 일관성과 처리 속도 문제를 효과적으로 개선한 것이 특징이다. 팸텍 관계자는 "최근 반도체 제조 공정은 고집적 구조 중심으로 발전하고 있다. 이에 따라 웨이퍼 내부 결함 분석과 레이어 구조 확인은 더욱 높은 정밀성과 반복성을 요구하고 있다"고 설명했다.