직경 155㎜... 기존제품대비 시간당 2.5배 수처리 가능
전자부품·소재기업인시노펙스(6,080원 0%)는 반도체와 액정표시장치(LCD) 제조공정에서 화학약품 및 순수(純水) 정제 기능을 하는 소모성 부품인 대용량 수처리 필터(사진)를 개발했다고 4일 밝혔다.
시노펙스 측은 직경 155㎜ 크기인 이 필터는 기존 130㎜보다 시간당 2.5배 수처리가 가능하고 100나노미터(㎚, 1㎚는 10억분의 1m) 크기 미립자도 걸러내는 등 99.9% 여과가 가능하다고 설명했다.
이 필터는 반도체 공정 및 8세대 이상 LCD 공정 등에 쓰이는 장비 및 설비에 들어간다. 8세대 공장은 가로와 세로 길이가 각각 2200㎜ 및 2500㎜ 크기인 유리기판을 다루는 공장으로 유리기판 1장당 52인치 LCD를 6대, 47인치는 8대를 생산하는 등 대형 TV용 LCD 생산에 최적화된 공정이다.
손경익 시노펙스 사장은 "외산에 의존하고 있는 반도체 LCD 공정용 수처리 필터를 국산화하는데 앞장설 것"이라고 말했다.
