피에스케이, 반도체장치 관련 특허취득

피에스케이(99,700원 ▼1,100 -1.09%)는 반도체 제조 애싱공정에서 절연막의 손상을 방지하는 방법과 관련된 특허를 취득했다고 14일 공시했다.

피에스케이는 이번 특허를 활용, 애싱장비의 성능을 향상시킬 방침이라고 밝혔다.

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