케이씨텍(31,900원 ▼650 -2%)은 반도체용 웨이퍼 카세트의 파지 여부를 감지하는 장치에 대해 특허를 취득했다고 16일 공시했다.
최명용 기자
2007.10.16 11:40
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케이씨텍, 반도체용 웨이퍼 카세트 특허
<저작권자 © ‘돈이 보이는 리얼타임 뉴스’ 머니투데이. 무단전재 및 재배포, AI학습 이용 금지>
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케이씨텍(31,900원 ▼650 -2%)은 반도체용 웨이퍼 카세트의 파지 여부를 감지하는 장치에 대해 특허를 취득했다고 16일 공시했다.
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