케이씨텍(30,850원 ▲1,900 +6.56%)은 반도체용 웨이퍼 카세트의 파지 여부를 감지하는 장치에 대해 특허를 취득했다고 16일 공시했다.
최명용 기자
2007.10.16 11:40
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케이씨텍, 반도체용 웨이퍼 카세트 특허
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