더벨|이 기사는 11월09일(10:36) 자본시장 미디어 '머니투데이 thebell'에 출고된 기사입니다.
레이저 및 자동화 장비 전문기업 한빛레이저가 전자현미경 융합 전문기업 코셈과 손 잡고 반도체 첨단 검사 장비 시장 진입을 본격화한다.
한빛레이저(3,595원 ▲20 +0.56%)는 지난 4일 코셈과 전략적 업무협약(MOU) 및 공동개발 계약을 체결하고, 차세대 '대기압 주사전자현미경(EIRTRON)' 기술을 탑재한 반도체 인라인 자동화 검사장비 상용화 개발에 착수했다고 9일 밝혔다.
이번 협력은 한빛레이저가 다년간 축적해 온 고정밀 자동화 제어 플랫폼과 장비 엔지니어링 역량에 코셈의 대기압 SEM 원천 기술을 결합하는 프로젝트다. 이를 통해 급성장하는 글로벌 AI 반도체 및 첨단 패키징 검사 장비 시장을 조기에 선점한다는 전략이다.
인공지능(AI) 반도체의 확산과 고대역폭메모리(HBM) 등 2.5D 및 3D 첨단 패키징 공정의 고도화로 나노미터 단위의 결함을 실시간 검출하는 기술이 반도체 수율의 핵심 변수로 부상했다. 기존 주사전자현미경(SEM)은 초고진공 챔버가 필요해 웨이퍼를 절단하거나 진공 배기에 긴 시간이 소요되는 치명적 한계가 있었다. 이에 코셈이 국가 신기술(NET) 인증을 획득한 특허 기술을 기반으로 대기압(1기압)에서 300mm 웨이퍼를 비파괴 검사할 수 있는 원천 기술을 개발했다는 설명이다.
해당 기술을 실제 반도체 대기업의 대규모 양산 라인에 즉시 투입할 수 있도록 시스템 전반의 고도화를 주도하기로 했다. 한빛레이저는 반도체 인라인 검사장비의 전체 구조 설계와 나노급 제어가 가능한 초정밀 자동화 시스템 구축을 맡았다. 웨이퍼 손상 없이 실시간으로 결함을 판별하는 고부가가치 인라인 융합 검사 플랫폼을 완성할 계획이다.
양사는 시제품 개발 단계부터 긴밀한 기술 협력을 통해 장비 성능 검증을 마치고, 주요 글로벌 반도체 고객사를 대상으로 파일럿 테스트를 신속히 추진해 조기 상용화를 이끌어낸다는 구상이다.
그간 레이저 및 고정밀 자동화 설비 분야에서 검증된 기술 레퍼런스를 구축해 온 한빛레이저는 이번 프로젝트를 기점으로 반도체 전·후공정 핵심 하이엔드 장비 시장으로 사업 영역을 대폭 넓히게 됐다. 회사는 고마진 첨단 장비 중심의 포트폴리오 재편을 통해 중장기 수익 구조를 획기적으로 개선하고 실질적인 기업 가치 상승을 이끌어낼 것으로 기대하고 있다.
김정묵 한빛레이저 대표는 “급변하는 AI 반도체 제조 공정에서는 미세 결함을 인라인에서 비파괴로 빠르게 잡아내는 고정밀 자동화 기술이 곧 수율 혁신의 핵심”이라며 “한빛레이저의 검증된 자동화 장비 기술력과 코셈의 대기압 SEM 원천 기술을 완벽히 결합해 차세대 반도체 검사 장비 시장의 새로운 표준을 제시하고 글로벌 장비 시장을 선도해 나갈 것”이라고 포부를 밝혔다.