AI(인공지능) 기반 반도체 예측 솔루션 기업 헥스에이아이랩스(대표 김진우)가 반도체 공정 예측 알고리즘 관련 핵심 특허 3건을 등록했다고 14일 밝혔다.
이번에 등록된 특허는 △기학습된 AI 모델을 이용한 반도체 소자 신뢰성 예측 방법 및 장치 △AI 모델 기반 웨이퍼 이상 실시간 예측 장치 및 방법 △웨이퍼 박막 특성 실시간 예측 장치 및 방법 등 세 가지다. 회사는 이번 등록을 포함, 현재까지 관련 특허 14건을 출원했다.
회사의 핵심 플랫폼은 'GAIA(가이아)'와 'COLUMBUS(콜럼버스)'다. 가이아는 물리적 테스트 없이 2시간 만에 반도체 신뢰성을 예측한다. 기존에는 3개월이 소요되던 공정이다. 콜럼버스는 원자층 증착(ALD) 공정에서 웨이퍼 전면의 박막 특성을 99% 이상의 정확도로 실시간 예측하는 기술이다. 이번 특허는 두 플랫폼의 핵심 알고리즘을 보호하는 원천 기술이다.
김진우 헥스에이아이랩스 대표는 노스캐롤라이나 주립대에서 공학박사 학위를 취득한 뒤 미국 국립표준연구소(NIST)와 삼성전자 수석엔지니어를 거쳤다. 김 대표는 "제조 초기 단계의 공정 데이터를 AI로 분석하면 수십만 장의 웨이퍼를 일일이 측정하지 않아도 수명과 불량을 예측할 수 있다"고 설명했다.
회사는 글로벌 종합 반도체 기업과 파트너십을 논의 중이다. 지난해 12월에는 미국 캘리포니아주 어바인에 북미 법인을 설립했다. 이번 특허 포트폴리오를 바탕으로 북미 및 글로벌 시장 진출에 속도를 낼 방침이다.
김민제 헥스에이아이랩스 연구원은 "이번 특허 등록으로 반도체 공정 예측 분야의 기술력을 인정받았다"며 "국내 반도체 AI 기술의 글로벌 경쟁력을 높이겠다"고 말했다.