머니투데이

독립리서치 지엘리서치는 액트로에 대해 스마트폰 부품에서 이차전지, 반도체로 사업 영역이 확대되는 중이라고 26일 밝혔다. 박창윤 연구원은 "액트로는 테라헤르츠파 기반 비파괴 검사장비를 차세대 신성장 축으로 육성하고 있다"며 "이는반도체 후공정,유리기판, 이차전지 등 성장 산업에서 경쟁력을 확보하기 위한 핵심 기술"이라고 말했다. 테라헤르츠파 검사장비는 실시간,비접촉, 고정밀 측정이 가능해 기존 샘플링 또는 파괴검사 방식 대비 공정 효율성과 품질 관리 능력을 크게 향상시킬 수 있다. 향후 주요 검사 공정에서의 채택 가능성이 높은 것으로 평가된다고 박 연구원은 분석했다. 특히 HBM 패키징 공정에서는 몰딩 과정의 보이드·균열·접착 불량 등 주요 리스크를 조기 검출할 수 있어 수율 향상 효과가 기대된다. 또한 유리기판에 테라헤르츠파 검사 장비를 활용하면 포토레지스트 코팅 시 가장 문제가 되는 사이드 및 엣지 영역의 두께 편차,균일성 측정이 가능하다. 현재 고객사와 사양 협의를 진행 중에 있다 이차전지 산업에서도 양극 전극·분리막 검사, 등 파일럿 장비 개발이 속도를 내고 있다.