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차세대 반도체 미세 구조 측정 장비를 개발하는 스타트업 멀티스케일인스트루먼트가 서울대학교기술지주, 한국투자파트너스, 아이디벤처스, 기술보증기금에서 프리시리즈A 투자를 유치했다고 28일 밝혔다. 금액은 비공개다.
2023년 설립된 멀티스케일인스트루먼트는 서울대학교 물리학부 제원호 교수를 중심으로 연구실 출신 인재들이 창업한 반도체 측정 장비 전문 스타트업이다. 지난해 시드투자를 유치한 후 1년여만에 이번 투자를 유치했다. 대표를 맡은 제원호 교수는 초미세 측정 분야에서 독보적인 기술 역량을 갖춘 물리학 연구자다.
최근 반도체가 점차 입체화·미세화(GAA, HBM 등)되면서 기존의 빛이나 전자빔 현미경만으로는 미세한 3차원 결함을 확인하기 어려워졌다. 이를 해결하기 위해 나노미터 수준의 미세한 바늘(탐침)로 표면을 정밀 검사하는 '원자현미경(AFM)'이 떠올랐으나 안정성 및 계측 시간 등 한계가 있었다.
멀티스케일인스트루먼트는 전자시계 부품 등에 쓰이는 수정 진동자의 정밀한 진동 원리를 응용한 'QTF 방식'의 원자현미경을 독자 개발했다. 기존 장비와 달리 레이저나 복잡한 광학 부품이 필요 없어 센서 머리(측정 헤드)를 작게 만들 수 있다. 이를 통해 장비 한 대에 여러 개의 센서 머리를 장착해 동시 측정을 가능케 했다. 부품 손상을 줄이는 안정성 및 고정밀 특성을 유지하면서도 측정 속도를 수십 배 이상 개선하게 된다.
이번 투자를 진행한 차인환 서울대학교기술지주 대표는 "멀티스케일인스트루먼트는 소수 해외 및 국내 기업이 독점하고 있던 반도체용 원자현미경 시장에서 기존 기술의 한계를 극복할 수 있는 독보적 구조를 갖췄다"라고 말했다.
제원호 멀티스케일인스트루먼트 대표는 "이번 투자를 계기로 시제품 제작과 반도체 공정 장비 내장형 제품 개발에 박차를 가할 것"이라며 "국내외 주요 반도체 제조사와의 검증을 거쳐 차세대 반도체 생산 라인의 핵심 계측 장비로 자리매김하겠다"고 밝혔다.
