삼성 반도체, 먼지 한톨도 허용하지 않는다

삼성전자의 기흥반도체 사업장은 얼마나 깨끗할까?

더이상 깨끗한 곳은 없다고 보면 된다.

우선삼성전자기흥 사업장은 91만평 전체가 금연 구역이다. 건물 안만 금연이 아니라 운동장까지 담배를 피울 수 없게 돼 있다. 6군데의 흡연시설이 있는데 건물에서 수백미터는 떨어진 벤치시설이다. 이곳에서만 흡연이 가능하다.

건물안으로 들어가면 신발을 무조건 갈아신어야 한다. 바깥에서 묻어온 먼지가 건물내에 유입되지 않도록 하기 위해서다.

기흥사업장 3라인을 투어할 기회를 얻었다. 생산시설 내부로는 들어갈 수 없고 창문으로 잠시 엿볼 기회만 주어졌다.

창문틈에 보이는 것은 방진옷을 입고 웨이퍼 가공에 여념이 없는 연구원들. 연구원들위에서는 바람이 계속 쏟아져 내려오고 바닥에는 구멍이 숭숭 뚤려있다. 방진옷을 입었지만 혹시 생길지 모를 먼지를 빨아들이기 위한 장치다.

3라인은 파티클 3까지 허용하는 클래스 3의 청정도를 유지하고 있다.

파티클1은 1평방피트당 0.1미크론의 먼지를 말한다.

담배연기의 입자 한개의 크기를 0.5미크론이라고 한다. 입체로 표현하면 0.1미크론은 담배연기 입자 한개의 1/125정도의 크기다.

이런 먼지 세개가 1평방피트의 공기속에 들어 있는게 3라인의 청정도다.

4라인 이후부터는 class1으로 1평방피트속에 0.1미크론 크기의 먼지 1개만 허용된다. 아예 없다고 보면 된다.

반도체는 웨이퍼에 반도체 회로도를 그리고 이를 화학물질로 긁어내 회로도를 만든다. 회로도를 웨이퍼에 옮겨 인화할 때 먼지가 끼어들거나 화학물질을 긁어낼때 먼지 하나는 치명적인 손실을 야기할 수 있다. 그만큼 청정도가 중요하다.

생산시설만 깨끗한 것은 아니다. 주위 환경까지 삼성전자만큼 깨끗한 곳은 없다고 보면 된다.

삼성전자가 쏟아내는 폐수는 주변의 생태 호수를 통해 배출된다. 폐수로 만들어진 호수지만 그 속에선 잉어와 물고기들이 자연스레 헤엄치고 있다.

폐수를 깨끗이 처리한 뒤 배출하기 때문에 자연 생태계보다 오히려 깨끗한 수질을 유지할 수 있다. 삼성전자는 이곳에 생태공원 등 환경 학습장까지 만들었다.

<사진>삼성 반도체 생산라인에서 연구원들이 반도체 웨이퍼를 검사하고 있다.