15일 경기도 기흥에 위치한 삼성전자 기흥사업장 5라인.
백혈병 논란과 가장 유사한 공정을 하고 있는 라인을삼성전자(189,600원 ▲22,400 +13.4%)가 국내외 85개 언론사에 전격 공개했다. 백혈병 발병 의혹을 제기하는 유족 측과 '반올림' 등 시민단체들이 기존 발병라인인 1~3라인과 다르다는 이유로 '라인투어'에 의미가 없다고 주장했지만 삼성전자 측은 라인공개를 통해 백혈병 발병 유무를 가리자는 게 아니라고 말했다.
일부 의혹을 제기하는 측이 '반도체 라인이 마치 50~60년대 화학염색 공장처럼 오인시키고 있는 실상'을 바로잡고 모든 것을 투명하게 하겠다는 의지를 보여주기 위해 생산성 저하를 감내하고라도 최초로 라인 공개를 결심하게 됐다는 것.
5라인 입구에서 우선 속바지를 입고, 방진장갑을 낀 후 방진모, 방진마스크, 방진복, 방진 신발순으로 중무장했다. 먼저 한톨도 허용하지 않는 작업장 환경탓이다. 눈을 제외한 모든 부분을 가린 후 에어샤워 기능을 하는 클린룸에 강한 공기로 30초 이상 먼지를 떨어낸 후 생산라인에 들어갔다.
1개 라인의 길이가 약 220ｍ로 양 옆으로는 증착과 식각, 노광, 세정작업장이 일렬로 촘촘히 들어서 있고, 통로의 끝부분에는 불순물을 주입하는 이온주입기가 자리했다.
모든 웨이퍼의 처리가 장비 내에서 이뤄지고, 웨이퍼가 움직이는 과정은 웨이퍼를 담는 박스를 통해 이뤄졌다. 생산라인의 오퍼레이터의 역할은 컴퓨터를 이용한 데이터 입력이나 작업진행 현황을 점검하고, 공정이 끝난 웨이퍼를 다음 단계로 이동하는 게 주 임무였다.
5라인은 8인치(200㎜) 웨이퍼를 활용해 비메모리 반도체인 시모스이미지센서(CIS)나 스마트카드IC 등을 생산하고 있었다.
최첨단 공장인 S라인을 공개하는 이유에 대해 삼성전자 측은 작업환경에 얼마나 변하고 있는지를 보여주겠다는 의지라고 말했다.
메모리 14라인과 함께 복층구조로 돼 있는 S라인에는 증설투자를 위해 장비 설치에 나선 파란 방진복의 협력업체 직원들 외에는 거의 사람이 보이지 않는 자동화 설비로 이뤄졌다.
공장 천장에 난 레일에는 5라인에서 여직원들이 나르던 웨이퍼 박스를 자동반송기 형태로 만들어 사람의 손을 빌리지 않고 전자동으로 공정간 웨이퍼가 이송되고 있었다. 이 라인에는 4조 3교대로 약 400명이 근무하고 있지만 유리너머로 보이는 직원들은 손에 꼽을 정도로 한산한 모습이었다.
안내를 맡은 허동철 삼성전자 수석연구원은 "주문이 몰려 파란 옷을 입은 협력업체 사람들이 많이 보인다"며 "이들은 증설을 위해 장비설치에 나서고 있다"고 말했다.
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이날 삼성전자 라인투어에는 국내 기자들뿐만 아니라 AP통신, 파이낸셜타임스, 니혼게이자이, 일본전파신문 등 외신 기자들도 대거 참석했다. 삼성전자는 라인 배치만 보더라도 전문가들은 상대 기업 비밀을 알 수 있어 그 동안 라인 공개를 금기시해왔으나, 백혈병 발병 논란이 사그라들지 않자 투명한 공개를 통해 이를 해소하겠다며 공개를 결정했다.