반도체장비업체인넥스트인(2,150원 ▼30 -1.38%)스트루먼트(대표 허대영)가 일본 기업이 독점하고 있는 디퓨전 방식의 퍼니스(열처리 장비)를 국산화하는 데 성공했다.
9일 넥스트인스트루먼트 관계자는 "이달 중 퍼니스 양산 체제를 구축, 6월부터 본격 생산에 돌입할 계획"이라며 "일본 업체들에 비해 공급가를 10~15% 낮출 방침이어서 국내외 반도체 업체로부터 구매 요청이 잇따를 것"이라고 전망했다.
특히 이번 퍼니스의 국산화는 법정관리 상태에 있던 국내 업체를 인수해 일군 성과라 업계의 주목을 받고 있다. 넥스트인스트루먼트는 지난해 말 300mm 웨이퍼용 퍼니스 개발에 착수했다 자금압박으로 부도를 맞았던 윈테크를 인수, 자체 기술을 보태 이번에 국산화에 성공했다.
한편 퍼니스는 한번에 300mm 웨이퍼 100장을 고밀도로 증착할 수 있는 장비로 현재 도쿄일렉트론, 히타치국제전기 등 일본 기업이 국내 업체에 독점 공급하고 있다.