ASML 정면 반박 "학교 버스만 한 크기인데...중국에 한 대도 없다"
미국이 네덜란드 반도체 장비 기업 ASML을 향해 반도체 노광 장비가 미국의 대중 수출통제를 위반했을 가능성을 제기했다고 19일(현지시간) 블룸버그통신이 보도했다.
보도에 따르면 하워드 러트닉 상무부 장관은 ASML 경영진에게 극자외선(EUV) 리소그래피 장비가 트럼프 행정부의 중국 제재 조치를 위반하고 수출됐을 우려를 전했다. 이 장비는 최신 D램 제품의 생산성과 성능 개선을 위한 필수 장비로 ASML이 사실상 독점 공급하고 있다.
ASML은 사실이 아니란 입장이다. 익명을 요구한 관계자는 "해당 장비는 학교 버스만 한 크기에 한정된 수량으로 생산되고 ASML 직원들의 지속적인 유지·보수가 필요한 만큼 중국에 있지도 않다"고 설명했다.
ASML 대변인은 "ASML은 전 세계 정부 지도자들과 투명하고 공개적인 대화를 정기적으로 진행하고 있다"며 "미국과 네덜란드의 수출 통제 규정에 내재된 국가 안보적 고려 사항을 인지하고 있으며, 모든 관련 규정을 준수하기 위해 최선을 다하고 있다"고 밝혔다.
이어 "ASML은 이전에 중국과의 수출 통제 규정 미준수와 관련된 여러 근거 없는 의혹을 부인한 적이 있다"며 "이같은 의혹은 사실과 다르며 회사 평판에 해를 끼쳤다"고 강조했다.
백악관 고위 관계자들은 ASML이 EUV 장비 관련 부품의 중국 수출을 포함해서 제재 조치를 성실하게 준수하지 않았다는 증거를 확보했다고 주장한다. 다만 블룸버그통신은 이들이 정보 출처에 대한 민감성을 이유로 들면서 증거를 보여주지는 않았다고 보도했다.
자국 기업의 반도체 경쟁력 확보를 강조해 온 트럼프 행정부는 ASML에 대한 압박을 키우고 있다. 미국은 이전에도 ASML에 미국 안보와 기술 정책을 훼손한다는 의혹을 제기했고 이에 ASML은 '중국에 자사 EUV 시스템이 있다는 어떤 증거도 없다'는 문서를 배포했다.
문서에는 전 세계에서 가동 중인 EUV 장비 314대 중에 중국에는 1대도 없다는 내용과 함께 "모든 중단, 비정상 동작 또는 연결 끊김을 자동으로 감지할 수 있고 자사 도움 없이는 EUV 시스템을 제거, 운송 또는 이전할 수 없다"고 적혔다.
네덜란드 외무부 관계자는 네덜란드가 반도체 산업에서 "독보적인 역할"에 따르는 책임을 진지하게 받아들이고 있다고 밝혔다. 또 네덜란드는 EUV 장비 및 기타 관련 수출품에 대한 제한을 "매우 엄격하게" 시행하고 있으며 "필요한 경우 항상 개입한다"고 덧붙였다
