반도체 초미세공정을 위한 필수 장비인 극자외선(EUV) 장비 도입에 걸리는 기간이 한 달 가까이 빨라진다. 검사 절차 간소화를 통해 신속한 반도체 라인 가동이 가능할 전망이다.
산업통상부는 2일 국무회의에서 '고압가스 안전관리법 시행령' 일부개정안이 의결됐다고 밝혔다. 개정안은 글로벌 안전기준을 충족한 반도체 제조장비에 대해 기존 '고압가스 일반제조시설'이 아닌 '특정설비'로 분류하는 것이 주요 내용이다.
반도체 공정에 필수적인 EUV 장비는 내부에 고압가스 배관 및 장치가 포함돼 있다는 이유로 현행 법령상 고압가스 제조설비로 분류됐다. 이로 인해 EUV 장비를 설치할 때마다 기술검토와 검사를 받아야 했고 이 과정에서 도입 지연과 검사비 부담이 발생했다.
이에 산업부는 반도체 업계와 협의를 거쳐 EUV 장비를 특정설비로 분류하고 3년 주기 공장심사와 종합공정검사를 실시하도록 했다. 검사 절차를 개선하면서 동시에 기존과 동등한 안전성을 확보하는 차원이다.
이번 제도 개선으로 EUV 장비 도입 시 검사 등에 소요되는 기간이 기존 34일에서 9일로 최대 25일 단축될 전망이다. 해외 공인검사기관의 내압·기밀 검사비용도 장비당 약 5억원 절감될 것으로 분석된다.
또한 시행규칙 개정으로 물과 세탁세제 대신 이산화탄소를 사용해 세탁하는 친환경 '액화 이산화탄소 세정설비'를 상용화 할 수 있는 기준을 신설했다. 위험성이 낮은 고압가스시설의 안전관리자 선임기준도 현실에 맞게 정비했다.
이번 개정안은 다음주 공포 후 즉시 시행될 예정이다. 김정관 산업부 장관은 "안전 확보와 첨단산업 경쟁력 강화를 동시에 달성하기 위한 대표적인 규제혁신 사례"라며 "앞으로도 글로벌 기준에 부합하는 합리적 안전관리 체계를 통해 첨단산업 투자를 적극 지원할 것"이라고 말했다.
