에어퍼스트, 삼성전자 평택캠퍼스 최첨단 반도체라인 P3&P4 가스 공급..."50여년 국가 주요 산단에 공장 운영"

# 지난 26일 오후 경기도 평택시 지제동 삼성전자 평택캠퍼스 인근 대규모 공장. 아파트 20층 높이로 길게 뻗은 10여개 콜드박스와 대형 압축기계에서 나오는 큰 소리가 대규모 산업 현장을 실감케 했다. 공장 외곽에선 '가스시설 주의' 글자가 써있는 대형 트럭이 수시로 오갔다. '출입제한' 표시가 적힌 철망 건너편에 산소, 질소, 아르곤, 수소 등 산업용 가스 생산·공급설비가 24시간 운영되고 있었다.
삼성전자 평택캠퍼스 반도체 공장에 산업용 가스를 공급하는 에어퍼스트 평택공장(약 20만㎡·6만평) 내부 모습이다. 에어퍼스트는 1975년 설립 이후 50년 넘게 반도체와 화학, 철강 등 국내 주요 기업에 가스를 공급하며 우리 산업의 실핏줄 역할을 하고 있다.

평택공장 운전실에 들어서자 수십 대의 모니터 화면이 눈에 띄었다. 화면엔 생산설비와 공급라인의 운전 상태를 나타내는 수치와 그래프가 실시간으로 표시되고 있었다. 운전실에선 실시간 데이터를 통해 설비 운전 상태와 공급 상태를 상시 모니터링한다.
이곳에서 생산한 산업용 가스의 생산 상태와 공급 압력, 유량, 품질 등을 24시간 살피며 안정적인 공급체계를 유지하고 있다. 에어퍼스트 평택공장과 삼성전자 평택캠퍼스는 직선거리로 약 1km 남짓 떨어져 있다. 지하 배관으로 연결돼 이곳에서 생산된 산업용 가스가 반도체 생산라인에 공급된다.

공장 중심부 한편에선 공사가 한창 진행중이다. 삼성전자 평택캠퍼스 증설에 맞춰 추가 시설을 짓고 있는 에어퍼스트 현장이다. 이곳은 설계와 구축, 운영까지 통합 수행하는 반도체 산업가스 인프라 거점이다. 평택공장은 에어퍼스트 전체 가스 생산량의 약 40%를 담당한다. 삼성전자 반도체 생산에 필요한 산업용 가스를 안정적으로 공급하는 게 주요 임무다. 반도체 생산라인은 24시간 연속 가동되기 때문에 산업용 가스 공급이 단 한 순간도 흔들려선 안된다.
에어퍼스트가 생산해 공급하는 산소, 질소, 아르곤, 수소 등 산업용 가스는 산화, 퍼지, 불활성 분위기 조성, 플라즈마 공정, 열처리 등 반도체 등 여러 산업의 핵심 공정에 사용된다. 일정한 품질과 압력, 유량으로 공급하는 게 가장 중요하다. 공급이 중단되거나 불안정해질 경우 고객사의 생산 연속성과 품질 안정성에 직접적인 영향을 미치기 때문에 산업용 가스는 산업의 핵심 인프라로 분류된다.

이날 현장에서는 주요 건물 지붕에 설치된 자가 소비형 태양광 발전 설비도 눈에 띄었다. 총 설비용량은 약 729.6kW 규모로 공장 내 전력 사용 일부를 대체하는 역할을 한다. 640W급 태양광 모듈 1140장이 설치돼 지난달부터 가동을 시작했다. 에어퍼스트는 해당 설비를 통해 연간 약 67만4000kWh의 전력을 생산, 약 309.7톤의 온실가스를 감축한다.
에어퍼스트는 이곳 외에도 충남 서산 석유화학단지와 전북 군산 복합산업단지, 경북 포항 철강산업단지 등 전국 주요 산업단지 공장을 운영하며 국가 기간산업부터 식음료, 신소재, 의료, 제지, 유리 등 다양한 산업군에서 230여개 기업과 함께 성장하고 있다.
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양한용 에어퍼스트 대표는 "에어퍼스트가 생산·공급하는 산업용 가스는 다양한 산업의 생산공정에 필수적으로 사용된다"며 "산업용 가스는 최종 소비재로 직접 보이진 않지만, 고객사의 핵심 생산공정을 뒷받침하는 필수 소재이자 인프라다"고 강조했다.
이어 "지난해 창립 50주년이 에어퍼스트의 성장 기반을 돌아보는 계기였다면, 올해는 그 기반 위에서 산업 현장의 공급 인프라를 더욱 강화해 나가는 출발점"이라며 "앞으로도 반도체, 석유화학, 철강 등 주요 산업의 생산 연속성을 안정적으로 지원하는 산업가스 공급 파트너로서 역할을 확대할 것"이라고 말했다.