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반도체 박막 정밀계측 장비를 개발하는 스타트업 헬리오스가 파트너스라운지, 경북창조경제혁신센터, 포스텍홀딩스로부터 프리시드 투자를 유치했다고 19일 밝혔다.
지난해 12월 설립된 헬리오스는 인하대학교 물리학과 유석재 교수가 창업했다. 유석재 대표는 인하대 물리학과 연구실에서 다년간 축적한 광학 계측 원천기술을 바탕으로 사업화에 나섰다.
헬리오스가 개발 중인 솔루션은 반도체 웨이퍼 위에 쌓이는 박막의 두께를 정밀하게 측정하는 차세대 계측 장비다. 박막에 빛을 비춰 반사된 빛의 변화를 분석하는 방식이다.
기존 장비가 빛의 파장(색)만을 측정 변수로 사용했다면 헬리오스의 '마이크로 엘립소메트리(Micro Ellipsometry)'는 파장과 각도를 동시에 활용한다. 하나의 대물렌즈로 다양한 각도와 파장의 빛을 한 번에 분석해 사전 정보 없이도 정밀한 자동 계측이 가능하다.
현재 글로벌 반도체 박막 계측장비 시장은 미국이 사실상 독점하고 있어 국산화 요구가 큰 영역으로 꼽힌다. 헬리오스는 첫 적용 분야로 3D 낸드플래시 박막 계측을 타깃하고 있다. 국내 주요 협력사와 NDA(비밀유지계약)를 체결하고 공동개발(JDP)을 진행 중이다.
헬리오스는 이번 투자를 바탕으로 올해 하반기 중 소형 테이블탑 계측 장비를 출시할 계획이다. 제품 완성도를 높이고 국제 특허 출원을 통해 기술적 해자를 구축해 나가는데 투자금을 투입한다.
유석재 대표는 "박막 두께 계측 기술은 50년 전 정립된 기술이 큰 틀의 변화 없이 사용되고 있어 미세화된 반도체 공정과의 간극이 크다"며 "마이크로 엘립소메트리라는 새로운 기술로 글로벌 기업과 경쟁할 수 있는 대표적인 계측장비 기업으로 성장하겠다"고 말했다.
정인오 파트너스라운지 파트너는 "헬리오스는 검증된 연구 성과를 바탕으로 기존 장비의 한계를 뛰어넘는 장비를 개발했다"며 "연구용 소형 장비부터 반도체 양산용 대형 장비까지 성공적으로 라인업을 확장해 광계측 토탈 솔루션 기업으로 도약하길 바란다"고 했다.
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